产品微结构:二维结构,三维浮雕结构;
加工细节:加工线宽1um,线宽误差±0.2um,深度误差<±5nm;
材料:石英、K9、硅、锗、硫化锌、硒化锌、氟化锂、蓝宝石、各类金属等材料;
加工面要求:平面、球面或者非球面;
产 品 应 用:微结构测量、标尺精度标定、内窥镜光阑、微纳防伪印章、维纳结构模芯用模板等等微纳结构产品;同时提供分划版、码盘、分辨率版、枪瞄等光刻产品。
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