微电子与半导体装备_离子注入机-中国电子科技集团公司

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中国电子科技集团公司第四十八研究所成立于1964年5月24日，由原国防科委第14研究院北京新工艺研究室和公安部湖南实验工厂合并而成。48所占地面积224亩，现有职工1000多人，其中有突出贡献享受国务院政府特殊津贴的专家29人、研究员级高级工程师33人、高级工程师191人。48所技术力量雄厚，专业门类齐全，拥有设计、制造、总装、测试等系统平台，是我国主要以集成电路、半导体照明、太阳能光伏、磁性材料、新型储能材料、特种传感器和SOI材料等技术为主的骨干科研生产机构，是我国以离子注入机为主的微电子装备供应商、以MOCVD设备为主的光电子装备供应商，是我国太阳能光伏制造装备供应商、磁性材料制造装备供应商。48所太阳电池制造装备具备了"整线交钥匙"工程的能力，国内市场占有率达到80％以上，扩散炉、刻蚀机、PECVD等装备批量供应国际著名的无锡尚德太阳能电力有限公司等；磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70％以上，氮气氛保护推板窑批量供应浙江横店东磁股份有限公司、浙江天通控股股份有限公司等上市企业。同时，48所利用自身的装备和工艺优势，不断开发具有自主知识产权的装备上伸下延产品，成为了国内大的太阳能光伏产品、高档磁性材料、新型储能材料、特种传感器、SOI材料及高性能氮化钒添加剂的制造企业和国家科技部、北京市太阳能光伏电池示范生产单位及湖南省太阳能光伏产业、磁性材料产业和新型储能材料产业的牵头单位。

　　48所现已具备年产各类大型电子专用装备3,000台（套）、1,000MW完整太阳能光伏产业链、10,000吨高档磁性材料、5,000吨完整新型储能材料产业链、10,000支特种传感器、50,000片SOI材料、5,000吨氮化钒添加剂的生产能力。48所已通过ISO9001、GJB9001、UL、CE、TüV、NRE等质量管理体系认证，是通过ISO14001环境管理体系认证和OHSAS18001职业健康安全管理体系认证的电子专用装备研制生产单位，是总装备部"军用电子元器件科研生产先进单位"和《军用电子装备科研生产许可证》单位；48所电子专用装备及环保节能产品的用户覆盖含香港、台湾在内的全国29个省市区及美国、德国、法国、西班牙、意大利、新加坡、韩国、伊朗、印度等国家。

　　数十年来，48所始终立足于行业科技发展的前沿，努力提高自主创新能力，已在主要产品领域拥有一批自主知识产权和核心技术。共取得重大科研成果380余项，达到国际先进水平项目138项、列为国家替代进口项目119项。获得了包括国家科技进步奖在内的省、部级以上科研成果奖励232项及大量荣誉，拥有专利278项和软件版权17项，制定行业标准18项。

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